安捷倫分子泵是一種高速旋轉(zhuǎn)的機(jī)械泵，因此對(duì)平衡的要求很高，對(duì)固體異物非常脆弱，通常要在分子泵的入口處安裝金屬過濾網(wǎng)。分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。常規(guī)的分子泵使用軸承來確保葉片的高速旋轉(zhuǎn)。新型的分子泵采用磁懸浮構(gòu)造，使得葉片轉(zhuǎn)速不斷提高的同時(shí)，更使分子泵適合超高真空系統(tǒng)，也延長了分子泵的使用壽命。

　　安捷倫分子泵的操作需嚴(yán)格遵循規(guī)范，以確保其性能、延長使用壽命并避免設(shè)備損壞。以下是分子泵操作的關(guān)鍵注意事項(xiàng)：

　　一、啟動(dòng)前的準(zhǔn)備

　　檢查電源與控制系統(tǒng)

　　確保分子泵的電源電壓、頻率與設(shè)備要求匹配，接線牢固可靠。

　　檢查控制系統(tǒng)（如變頻器、溫控器）是否正常運(yùn)行，參數(shù)設(shè)置是否正確。

　　確認(rèn)真空環(huán)境

　　分子泵必須在高真空環(huán)境下啟動(dòng)，禁止在大氣或低真空狀態(tài)下直接啟動(dòng)，否則會(huì)導(dǎo)致葉片過熱損壞。

　　使用前級(jí)泵（如機(jī)械泵）將系統(tǒng)抽至較低壓力（通常低于10 Pa），再啟動(dòng)分子泵。

　　檢查冷卻系統(tǒng)

　　分子泵運(yùn)行時(shí)會(huì)產(chǎn)生熱量，需確保冷卻水（或風(fēng)冷系統(tǒng)）正常循環(huán)，避免過熱。

　　檢查冷卻水管路是否暢通，水流開關(guān)是否正常，水溫是否在允許范圍內(nèi)（通常≤30℃）。

　　檢查振動(dòng)與噪音

　　手動(dòng)旋轉(zhuǎn)分子泵轉(zhuǎn)子，確保無卡頓或異常摩擦聲，避免異物進(jìn)入泵內(nèi)。

　　二、啟動(dòng)步驟

　　開啟前級(jí)泵

　　先啟動(dòng)前級(jí)泵（如機(jī)械泵），將系統(tǒng)壓力抽至分子泵允許的啟動(dòng)壓力以下（通常<10 Pa）。

　　啟動(dòng)分子泵

　　緩慢增加分子泵的電機(jī)轉(zhuǎn)速（通過變頻器控制），避免瞬間高速啟動(dòng)導(dǎo)致電機(jī)過載或葉片損傷。

　　觀察分子泵的運(yùn)行電流和振動(dòng)情況，確保平穩(wěn)加速至額定轉(zhuǎn)速。

　　監(jiān)控真空度

　　啟動(dòng)后，密切關(guān)注系統(tǒng)真空度的上升情況，確認(rèn)分子泵抽氣效果正常。

　　三、運(yùn)行中的維護(hù)

　　保持冷卻系統(tǒng)穩(wěn)定

　　持續(xù)監(jiān)測(cè)冷卻水溫度、流量和壓力，確保散熱效果良好。

　　定期清洗冷卻水過濾器，防止堵塞。

　　注意異常聲音和振動(dòng)

　　分子泵運(yùn)行時(shí)應(yīng)平穩(wěn)無異常噪音，若出現(xiàn)異響或振動(dòng)過大，需立即停機(jī)檢查，可能是軸承磨損或葉片失衡。

　　避免返流污染

　　在高真空系統(tǒng)中，避免突然切斷分子泵電源或關(guān)閉閥門，防止空氣倒灌導(dǎo)致葉片污染或氧化。

　　定期檢查油潤滑分子泵

　　對(duì)于需要潤滑油的分子泵，定期檢查油位和油質(zhì)，及時(shí)更換老化或污染的潤滑油。

　　四、停機(jī)操作

　　逐步降速停止

　　關(guān)閉分子泵電源前，先通過變頻器降低轉(zhuǎn)速至低值，再完q斷電，避免瞬間停機(jī)造成沖擊。

　　關(guān)閉前級(jí)泵

　　分子泵完q停止后，再關(guān)閉前級(jí)泵，防止系統(tǒng)壓力驟升對(duì)分子泵造成損害。

　　隔絕大氣

　　停機(jī)后，立即關(guān)閉真空系統(tǒng)的閥門，防止空氣進(jìn)入泵內(nèi)導(dǎo)致污染或氧化。